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低損失パワーデバイス実現にむけたワイドバンドギャップ半導体結晶成長

【エネルギー】　熊谷義直ユニット　（2022年度活動終了）　※終了時の情報を記載しています

研究概要

次世代のパワーデバイス・高電子移動度トランジスタ材料であるワイドバンドギャップ半導体結晶，酸化ガリウム（Ga2O3）および窒化アルミニウム（AlN）を気相から高速で成長させるハライド気相成長法の研究を実施する。また、成長した結晶をデバイスに応用するための要素技術開発を行う。ポーランド科学アカデミーの研究者らと連携して国際共同研究を実施する。