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Investigation of halide vapor phase epitaxy of In2O3 on sapphire (0001) substrates

Nakahata, H., Togashi, R., Goto, K., Monemar, B., Kumagai, Y., Investigation of halide vapor phase epitaxy of In2O3 on sapphire (0001) substrates, Journal of Crystal Growth (J. Cryst. Growth)., 563: 126111 1-6, 2021

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